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SINOVAC電子半導(dǎo)體光伏車間除塵真空吸塵系統(tǒng)CVP925
| 產(chǎn)品型號： |
CVP925 |
| 品 牌： |
SINOVAC |
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| 所 在 地： |
江蘇無錫 |
| 更新日期： |
2025-06-27 |
| | 加工定制：是 | | 品牌：SINOVAC | | 型號：CVP925 | |
| | 除塵率：99.99 % | | 阻力損失：0.8 Pa | | 使用溫度范圍：-60-80 ℃ | |
| | 處理風(fēng)量：1600 m3/h | | 過濾速度：300 m/min | | 使用溫度范圍：-60-80 ℃ | |
SINOVAC電子半導(dǎo)體光伏車間除塵真空吸塵系統(tǒng)CVP925
電子半導(dǎo)體行業(yè)對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度、微�？刂坪挽o電防護有著極高的要求，真空吸塵系統(tǒng)在這一領(lǐng)域的應(yīng)用至關(guān)重要。以下是其典型應(yīng)用場景和技術(shù)要點：
1. 晶圓制造與加工
切割/研磨粉塵處理
晶圓切割（Dicing）和化學(xué)機械拋光（CMP）過程會產(chǎn)生亞微米級粉塵。真空吸塵系統(tǒng)需具備：
HEPA/ULPA級過濾（過濾效率≥99.999% @0.12μm）
低振動設(shè)計（避免影響精密設(shè)備）
防靜電功能（離子風(fēng)機或?qū)щ姴牧媳苊夥蹓m吸附）
光刻區(qū)潔凈控制
在光刻膠涂布和顯影環(huán)節(jié)，需清除空氣中的納米級顆粒：
無油真空泵（防止油蒸氣污染）
化學(xué)兼容性（耐光刻膠溶劑腐蝕）
2. 半導(dǎo)體封裝與測試
封裝粉塵收集
劃片（Sawing）、打線（Wire Bonding）產(chǎn)生的金屬/樹脂碎屑：
高吸力變頻控制（適應(yīng)不同粒徑顆粒）
防爆設(shè)計（用于可燃性粉塵環(huán)境）
測試環(huán)境維護
在芯片測試環(huán)節(jié)，真空系統(tǒng)需：
低噪音運行（不影響精密儀器）
ESD防護（接地系統(tǒng)+導(dǎo)電吸嘴）
選型關(guān)鍵參數(shù)
參數(shù) 典型要求
真空度 10~50 kPa（根據(jù)顆粒粘附力）
流量 50~200 m³/h（按覆蓋面積）
過濾精度 H14-ULPA級（ISO 15-13級）
靜電防護 ≤10⁶ Ω（導(dǎo)電吸嘴+接地）
化學(xué)兼容性 耐酸/堿/溶劑（如HF、丙酮）
行業(yè)趨勢
智能化集成：與MES系統(tǒng)聯(lián)動，實現(xiàn)清潔過程數(shù)據(jù)追溯
節(jié)能設(shè)計：變頻電機+能量回收系統(tǒng)（節(jié)能30%+）
納米級過濾：分子篩+催化氧化技術(shù)處理VOCs
SINOVAC電子半導(dǎo)體光伏車間除塵真空吸塵系統(tǒng)CVP925
